2011年02月14日

動画で学べる『粉塵』

動画で学べる『粉塵』 -品質管理研究所-


製造業における基本は、5Sです。

日常の家庭生活や子供たちの学校生活では、

部屋・教室の掃除、ごみすて、食器の洗浄、風呂掃除、
時には大掃除をしたりと、日常的に掃除をすることが当たり前になっています。

5Sと学校


ものづくりの工場でも同様に、工場内をきれいな状態に保つために、
5Sの中でも、清掃(Seisou)、清潔(Seiketu)が大切になります。


今回は、その『清掃、清潔』の敵ともいえる『粉塵』について、
わかりやすく学べる映像がありましたのでご紹介させていただきます。

工場では目に見えるごみがきになりますが、目に見えないほこりなどが
製品の品質に影響を与えていることがありますので、

下記を参考にしてみてくださいね。



(1)粉塵の基礎について

■ クリーンルームDVDサンプル1  johokiko1さん Youtube




「クリーンルーム作業者が知っておくべき必須知識と日常作業・管理上の留意点」DVD

※その他、詳細なビデオ内容本編については、JOHOKIKO CO.,LTD,で、
『クリーンルームクリーンルーム作業者が知っておくべき必須知識と日常作業・管理上の留意点』というDVDとして販売されているようですので、ご参考に!

※講師:元三菱電機(株)パワーデバイス製作所 品質保証部)工学博士 園田信夫 先生


(2)重力の影響で付着するごみ

■ 重力の影響で付着するゴミ・ホコリ inenagakenさん YouTube



【試験】
@30分間水平に置いたウェハから重力で落ちたゴミ 
 2回試験して、86個、113個 平均99.5個

A30分間垂直においたウェハから重力で落ちたゴミ 
 2回試験して、1個、5個 平均3.0個 

【結論】
 粉塵は重力の影響によって落下するため、水平と垂直の置き方によって、
塵の付着が大きく異なることを理解する必要がありますね。


(3)さわることによって付着するゴミ

■ 触って付着するゴミの確認 inenagakenさん YouTube




さまざまな条件で、ウェハをさわり、落下塵カウンターを使いゴミをカウント比較しています。

【試験】
@シリコンウェハを素手で触る
 30μm以上のゴミが195個 ※指の形にゴミが付着 

A静電気防止手袋(軍手)で触る
 30μm以上のゴミが193個 ※指の形にゴミが付着

Bクリーンルーム用のラテックス手袋(未洗浄品)
 30μm以上のゴミが138個 ※指の形にゴミが付着

Cクリーンルーム用のラテックス手袋(アルコール洗浄)
  30μm以上のゴミが4個

【結論】
 クリーンルーム用の手袋でさえも未洗浄品や一般環境にさらされたものであれば
汚れるため、きれいに洗浄することが大切ということがわかりますね。


(4)様々な動作と付着塵の関係

■ 様々な動作による粗大粒子の発塵と付着 inenagakenさん YouTube



【試験】一般環境化で同じ動作を15秒だけ行い、その後の落下塵数を測定。

@素手で手をたたく
 30μm以上 100個

Aクリーン手袋(未洗浄)をして手をたたく
 30μm以上 175個

Bクリーン手袋(アルコール洗浄)をしてたたく
 30μm以上  31個

C紙をびりびりやぶく
 30μm以上 122個

D段ボールをたたく
30μm以上 158個(96μm 以上 76個と大きいごみが目立つ)

E段ボールこすりあわせる
 30μm以上 622個

Fウエスをふる
 30μm以上 117個

Gウエスをたたく
 30μm以上 722個(糸くずもあり)

【結論】
 粉塵が品質に影響を与える部屋での段ボール、ウエスは、
使用を避ける必要があるということですね。



(5)周囲環境の違いによる落下塵数の違い


■ 周囲環境による落下塵数の比較  inenagakenさん YouTube



落下塵を集めるシリコンウエハをさまざまな周囲環境に30分暴露して、落下塵を比較。

【試験】
@室内         
 30μm以上 試験前 1個 → 試験後  44個 (増加)

A屋外         
 30μm以上 試験前 2個 → 試験後 177個 (大幅増加)

B容器の中     
 30μm以上 試験前 2個 → 試験後  3個 (同等)

Cクリーンベンチ  
 30μm以上 試験前 3個 → 試験後  2個 (同等 ※測定誤差程度)

【結論】
 屋外や屋内での保管では粉塵が落下し、汚染が進み、
今回のような容器に保管する環境では、落下塵による汚染を防ぐことができるということですね。


(6)床の違いによる発塵の変化

■ 床からの発塵 inenagaken さん YouTube




【試験】
床の違いによる発塵の違いについて、パーティクルセンサで測定されています。

@事務所のカーペット
 5μmゴミ 1000個/CF程

A塩ビシート+アルコールふきあげ
 5μmゴミ 360個程/CF

B濡れたバスタオルを敷いた(床に水撒きをした常態)
 5μmゴミ 216個程/CF

※CFは、キュービックフィート(1cf=1ft3)、
 つまり、1立方フィート1ft=約30.5cmの立方体の大きさです。

【結論】
 床の種類やぬらすなどの対応で塵の発生が変わることをあらためて、
理解しておくことが大切ですね。



以上のように、目にみえないようなほこりや塵を知り、定量的に把握しておけば、
どのような作業環境でどのような作業をすれば、よりよい状態で作業できるかが
わかり、知識に基づいた作業や指導が可能になります。

皆さんの工場実務での5Sの清掃、清潔の基礎として、
ご参考になれば、うれしい限りですひらめき


【関連記事】
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ものづくりの基本の『5S』とは?
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posted by かおる at 20:04| Comment(2) | TrackBack(0) | 5S
この記事へのコメント
私の会社でもクリーンルーム内では紙は持ち込み禁止、ダンボールなどは論外になっています。
しかし、結局、粉塵って人が持込んでたりするんですよね。
私の部署でもパーティクルカウンターを使って、定期的にクリーンルーム内の測定を行なっています。
測定中にカウンターの近くで動いたりしてたら、数字が跳ね上ってた・・・という経験があります。
人って恐ろしいなぁと思いました。
Posted by QA係長 at 2011年02月14日 22:46
QA係長さま

コメントありがとうございます。

粉塵は見えないところで悪さをするので
管理することは、大切ですね。

特に出入りの多い人の周りの粉塵を
きちんとコントロールすることは大切ですね。

ほこりを粘着ロールでとるという動作ひとつをとっても、

足からやるのではなく、頭の上からかけて、ほこりが、上から下におちて、より適切なかけ方になるようにすることなど、

基本動作ひとつとっても
少しでもよくなるように改善を積み重ねることが大切ですね。

また、段ボールや紙の持ち込み禁止に加え、

通いパレットや梱包用の包装など
さまざまなところに粉塵の発生要因が潜んでいますので、

清掃ルールや出し入れルールなどの基準と遵守、そのための教育(躾)が必要ですね。


品質管理研究所 かおる
Posted by 品質管理研究所 かおる at 2011年02月15日 10:41
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